Evan系列高功率纳秒激光器

Evan系列高功率纳秒激光器,采用高可靠性主振荡-功率放大(MOPA)架构,结合先进热管理与光束质量保持技术,实现平均功率>200 W、脉冲宽度1-10 ns 的稳定纳秒激光输出。支持 1064 nm / 532 nm / 355 nm 多波长灵活切换,光束质量优异(M² <1.3),脉冲能量、频率及宽度可独立调节。

产品特点 / Product features
优异的光束质量
支持内外触发
重复频率可调
结构紧凑、可靠性高
方便安装和系统集成
应用领域 / Application area
激光超声检测
晶圆划片和切割
激光打标和划片
半导体器件激光退火
技术参数 / Technical parameter

规格参数

Evan-1064-200

Evan-532-120

Evan–355-80

激光波长

1064 nm

532 nm

355 nm

光谱宽度

<0.3 nm

输出功率

200 W@1 MHz120 W@1 MHz80 W@1 MHz

激光脉宽

1-10 ns

重复频率

100 kHz-2 MHz

光束质量

M²<1.3

光斑圆度

>90%

功率稳定性

RMS<3%@24 hrs

指向稳定性

<50 μrad

偏振度

>100:1

偏振方向

Vertical
发散角<1.5 mrad
光斑直径2.5±0.5 mm@60 cm
控制方式Gate/Trigger/Sync
通信方式RS232/RS485
冷却方式水冷

机器尺寸

910 mm×510 mm×153 mm


产品尺寸 / Product size

Evan系列高功率纳秒激光器@1x

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